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光电子与微电子实验室简介
日期：2019年11月04日 20:18 来源： 作者：
实验室简介
光电子与微电子实验室实用面积80平方米，拥有磁控溅射物理气相沉积仪、等离子增强化学气相沉积仪、高温退火炉、台阶仪、霍尔效应测试仪、曝光机、显影机、QUV加速耐候实验箱等仪器设备，同时还设有光电子与微电子教学综合实验平台和有关软件。
实验室功能
实验室主要承担半导体工艺学、半导体集成电路、半导体器件、薄膜技术等课程的实验教学任务以及中高职教师的省级、国家级培训工作同时微电子学专业学生的职业资格认证等工作。
