主要技术特点

1. 工作台结构：导轨丝杠工作台
2. 测试方式：可调探头/探卡兼容
3. 最多可布可调探头数10支、打点器1支
4. 打点电压：24V/48V
5. 显微镜放大倍数：14-90X，特殊需求可达225X

主要技术指标

□ 可测片径：3″、4″、5″、6″
□ X、Y向工作行程：154mm×154mm
□ Z向行程：2mm
□ θ向旋转：±45º
□ 功耗：50W
□ 外形尺寸（长×宽×高）：600mm×460mm×510mm
□ 重量：约50kg
□ 使用温度环境：15ºC-25ºC
□ 相对湿度：＜70%
□ 电源：AC220V±22V/50Hz
□ 真空源：0.08MPa（用户自备）