1)线性扫描方式,无需校正抛物线型; 最大扫描长度30mm

2)最大采样点数60,000。

*3)成熟的扫描时超微正压力: 0.05-10mg (软件可编程选择和自动控制,无需手动)。

4)探针曲率半径2.5微米。

*5)彩色摄像头,样品移动和扫描方向 与 屏幕显示方向一致。

6)最大垂直测量范围: 400um。

*7)垂直分辨率: 垂直范围小于等于10um时 仍保持1A的垂直分辨率

8)30+个分析参数

9)XY手动样品运动台

*10)独特的系统内置避震设计

*11)Z测量重复精度:保证10A重复性(1um台阶标样) 均在0.05mg超微力下，无防震台下验收

*12)薄膜应力测试选件

*13)最薄测量1纳米厚的膜

*14)极其方便地更换探针，所需辅助工具和配件已固化并安装在机器，无需其他机器外的任何辅助工具和配件。