紫外皮秒激光器
主要功能用途:紫外皮秒激光器是电子材料精密加工核心组成部分,该设备输出皮秒量级激光与材料作用时间短,热损伤小,减少晶圆及陶瓷等材料热效应,不会对该材料二次加工产生不良影响,同时聚焦光斑尺寸可达到微米量级,能够完成手机通信天线及小尺寸3C电子元件等精密加工。为研究材料特性及精密加工工艺提供有利支持。